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技術(shù)參數(shù)：

頻率： 2450 MHz +/-20 MHz

微波功率： ***大 3 kW

主電源電路 5100 V DC, 900 mA

主電源電路連接器： 高壓接頭, PE 和 GND: 電纜接線端子6 mm

主加熱電路： 230 V AC, 50 – 60 Hz, 0.8 A ( 208 V AC, 50 – 60 Hz)

主加熱電路連接器： 圓形連接器

反應(yīng)器輸出口： DN 63 ISO-K

涂抹器校準(zhǔn)： 90° 扭轉(zhuǎn)

冷卻水： 水流量 = 4 l/min, 壓力 = 4 bar, 入水口溫度= 20 °C - 25 °C

冷卻水接頭： 輸入：3/8‘’； 3/8"

工藝氣體： O2, N2, H2, F2, Ar, NH3, CF4 和其他含氟氣體

運行壓力： 0.2 Torr – 2 Torr (標(biāo)準(zhǔn)), (***大值5 Torr)

氣體連接器： G1/8” 內(nèi)螺紋，如 VCR

材料： 鋁、陶瓷

尺寸 (寬x 深 x 高 )： 約 320 mm x 268 mm x 281 mm

重量： 約 18 kg